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微型马达、电机类

2018-06-20 01:10:57 98

Parylene具备在MEMS领域中运用的特点!

接近微米级的精密制作;极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能;并与微机电领域的材质有很好的相容性。  
Parylene的超薄特性
在0.2微米厚时就完全没有针孔,可以渗入其他材料所不能进入的微细缝隙和孔洞之内,并且孔内和孔口附近的厚度基本相同,故可以在不改变对象的外观、尺寸、弹性、重量条件下,同时为其提供良好的防护。
Parylene具有极高的绝缘强度及优良的电性能
5微米厚就能耐1000V以上直流击穿电压,因此在微机电系统中,Parylene?#19988;?#26497;佳的电介质材料。
Parylene优异化学惰性和阻隔性能
对传感器的防酸、碱和有机溶?#33391;岸运?#27773;和盐雾等恶劣环境有极佳的阻隔防护能力。
Parylene优良的物理机械性能
Parylene的拉伸强度和屈服强度都很高,对微型电路保护方面具有明显的优势,Parylene可在微细小的线路表面形成完整的涂层,大大加?#21487;?#36848;较脆弱部位的连接强度。在学术研究领域还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene适用于各种传感器的防护(汽车用、腐蚀环境用、生物医学用、声学等)。目前亦导入半导体晶圆封装等制程。


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